专业从事静电吸附技术研发/生产/应用的创新技术企业
主要参数：
尺寸：≤ 300*300mm 直径≤300mm
吸力：≥120gf/cm2(晶圆)
电压：≤ +1.5KV
运用行业：
工业自动化应用，高平面度贴合应用，金属薄膜加工，检查。
